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含氟电子气体在全球电子气体市场上占据百分之三十的比例,可以用作蚀刻气体,清洗剂以及制冷剂等领域。相比于其他含氟电子气体,六氟乙烷具有无毒性及高稳定性的优势。另外,六氟乙烷作为蚀刻气体的精准性高,蚀刻率高;作为清洗剂的利用率高,排放率低,也使其具有了更大的应用前景。1六氟乙烷的性质六氟乙烷全称1,1,1,2,2,2-六氟乙烷,也称全氟乙烷或R116,分子式为C2F6,相对分子质量为138.0,英文名称Hexafluoroethane,CAS编号为76-16-4。六氟乙烷常温下为无色、无气味、非可燃的无毒气体,微溶于水,可溶于苯、四氯化碳、乙醇,不溶于甘油、酚。主要物理性质见表1。六氟乙烷可引起快速窒息,吸入后会引起头晕、恶心,若遇到很高的温度,容器内压力会增大,有炸裂的危险,一旦与可燃气体接触会燃烧后产生剧毒气体氟化氢。
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