中文名称:磷烷
中文别名:磷化氢、膦
英文名称:phosphine
英文别名:GAS EX-B;hydrogen phosphide;Phosphine?phosphorated hydrogen;
phosphorus hydride;Phosphorus trihydride
CAS号:7803-51-2
性质:无色,剧毒,易燃烧气体,带有令人生厌的大蒜味。
应用:用于多种化学反应中;半导体生产,N型半导体外延片掺杂;多晶硅掺杂;离子注入。
分子量:34.0
比重(Air=1):1.184
比容:0.712m3/kg 21.1ºC,101.325kPa
气味:大蒜味