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砷烷在室温和大气压下是一种无色、剧毒、可燃气体，有大蒜气味.与空气混合形成可燃混合气。砷烷微溶于水和有机溶剂，易与高锰酸钾、溴和次氯酸钠等起反应生成砷的化合物。砷烷在室温下稳定，在230-240℃下开始分解。砷烷是一种溶血性毒物，可中毒神经。用途:砷烷用于半导体工业中外延硅的"N"型掺杂，硅中"N"型扩散，离子注入，生长砷化镓(GaAs)、磷砷化镓(GaAsP)以及与Ⅲ/V族元素形成的化合物半导体。工业上生产的砷烷用于有机合成。
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